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中國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展峰會(huì)展商風(fēng)采

Oct,21,2022 << Return list

展商風(fēng)采丨蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司



圖片


關(guān)于施密科

蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司位于以“人間天堂”、“園林之城”而聞名天下的蘇州,公司成立于2017年,是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷售為一體的濕法制程設(shè)備制造商;服務(wù)于晶圓襯底材料、化合物半導(dǎo)體、SAW、IGBT、MEMS、先進(jìn)封裝等多個(gè)領(lǐng)域。

公司核心團(tuán)隊(duì)均由十年以上從業(yè)經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)精英組成,擁有豐富的半導(dǎo)體行業(yè)高端項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn);目前我司已與國內(nèi)外多家知名企業(yè)展開合作,憑借先進(jìn)的研發(fā)技術(shù)、精尖的人才梯隊(duì)和豐富的產(chǎn)品線,贏得了客戶的一致好評及信賴。


產(chǎn)品介紹

全自動(dòng)RCA清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路 硅片 碳化硅 硅部件 氮化鎵  砷化鎵  InP LN/TN等化合物襯底片及外延片 RCA清洗

設(shè)備特點(diǎn):

  • 一體式人機(jī)操作系統(tǒng),連續(xù)式自動(dòng)化生產(chǎn),工作效率高,節(jié)約人工成本;

  • 軟件與硬件為模塊化設(shè)計(jì);

  • 馬蘭戈尼干燥破片率低,潔凈度高;

  • 采用PC+PLC控制,支持GEM/SECS接口;

  • 具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,供用戶使用讀取。


全自動(dòng)拋光后清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路 晶圓片8/12硅片 碳化硅 氮化鎵  砷化鎵  InP LN/TN等化合物襯底片拋光后清洗

設(shè)備特點(diǎn):

  • 整機(jī)清洗部分為全封閉結(jié)構(gòu),裝有可拆卸觀察檢修門及監(jiān)控系統(tǒng);

  • 專用排風(fēng)及排廢系統(tǒng),提高設(shè)備安全性;

  • 槽體采用流場控制技術(shù),循環(huán)分流控制;

  • 設(shè)備占地面積小;

  • 各工序參數(shù)可于PLC觸摸屏內(nèi)直接設(shè)定,操作簡單。

全自動(dòng)研磨后清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路 晶圓片8/12硅片 6/8碳化硅 硅部件 LN/TN 砷化鎵等化合物襯底片和研磨后清洗

設(shè)備特點(diǎn):

  • 設(shè)備帶有MES功能,優(yōu)質(zhì)PP框架,全封閉結(jié)構(gòu);

  • 觸摸式人機(jī)交互界面,全自動(dòng)控制系統(tǒng);

  • 自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng);

  • 生產(chǎn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄,具有多種數(shù)據(jù)分析及存儲(chǔ)功能;

  • 部件采用知名品牌,性能可靠,使用壽命長,故障率低。

拋光液供液系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(ULSI)中對基體材料硅晶片的拋光液集中混配和集中供液

設(shè)備特點(diǎn):

  • 可實(shí)現(xiàn)拋光液原液供給,原液到混配供給,原液到混配到多路分配供給;

  • 混液可配置自循環(huán),電機(jī)攪拌,比重計(jì),PH計(jì),溫度計(jì),濃度計(jì)等功能;

  • 采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE管進(jìn)行保護(hù),防腐防水;

  • 配有接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng)。